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半自動硅片腐蝕清洗機(sc-003)

半自動硅片腐蝕清洗機
供應商參考報價:¥50000
  供應商信息
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詳細信息  

半自動硅片腐蝕清洗機

設備用途:用來將4、5、6寸硅片化學腐蝕和清洗

控制模式:手動控制模式、自動控制模式

項目

數據

適用對象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它襯底晶片

基本規格

機臺封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm)Or China SUS板材(厚度≥2mm)

機臺主體強度結構:整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材

機臺視窗:透明、抗靜電透明PVC(厚度≥5mm)Or China 鋼化玻璃(厚度≥2mm)

選配模塊

l  有機溶劑恒溫系統

l  有機溶劑循環過濾系統

l  超(兆)聲系統

l  水阻率檢測

l  CDS補液

l  廢液回收

l  更全面的全自動烘干系統

l  消防系統

l  可結合客戶端通訊協定資料存儲、CIM系統、資料分析存儲建立管理

l  純水節省功能

排風系統

排風強勁合理設計,為了排風效果達到***佳,排風通道內設有風量導流板,為了方便操作人員及時根據情況調節排風量,操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式排風口再配合機臺視窗上的可調節進氣模塊,從而達到***佳使用效果

機臺特點

l  清洗工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性

l  QDR沖洗模塊非常見排序式,可根據制程工藝設定

l  集成自動干燥系統

l  管路系統、電氣控制系統等關鍵核心部件均采用進口標準產品

l  保修便利,非期貨庫存品工廠內均建立安全庫存品

l  多級別用戶工藝數據庫,可供用戶使用和存儲

l  作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合,保證操作人員作業環境及人身安全

l  客制化設計能力佳,搞設計能力滿足客戶制程工藝需要

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全圖形化中文彩色人機界面(10.4彩屏)

槽體數量

根據制程要求選擇定制

設備制造

蘇州尚純半導體設備有限公司

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