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[促銷] 擴散爐(cl45-4)

擴散爐
供應商參考報價:面議
  供應商信息
· 青島晨立電子有限公司 [山東省] 加為商業伙伴
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聯系人: 姜經理
所在城市: 山東省 青島
詳細地址: 即墨區馬山東路陳家河工業園
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詳細信息  

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件行業、大功率集成電路等行業,對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。


 技術指標:
       可處理硅片尺寸:2—12英寸
       工作溫度:200℃—1300℃
       恒溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
       單點溫度穩定性、重復性:≤±1.5℃/24h
       溫度斜變:可控升溫速率20℃/min,
       可控降溫速率:5℃/min
       送片裝置:全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉
       氣路系統:1—5路工藝氣體/管
       氣體控制:全自動MFC、手動浮子流量計
       控制方式:工控機、觸摸屏

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