u<1> 渦流法電阻率分析儀(晶錠和晶片),應用于半導體Wafer及Ingot的電阻率分析; u<2> 渦流法電阻率探頭(晶錠和晶片),應用于光伏、太陽能Si片的檢測; u<3> SPV法PN探頭,應用于光伏、太陽能Si片的檢測; u<4> 電容法厚度探頭,應用于Wafer的厚度測量,分辨率0.1μm; u<5> 遷移率(霍爾)測試儀,應用于載流子遷移率及載流子濃度的測量; u<6> JPV法薄膜方阻探頭及分析系統,應用于電池片方阻測量; u<7> 半自動Wafer電阻率、厚度、PN、溫度分析系統(解決樣片翹曲度影響)。